Silan (SiH4)

Thông số kỹ thuật

Silan là một hợp chất của silic và hiđrô. Đây là thuật ngữ chung cho một loạt các hợp chất, bao gồm monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) và một số hợp chất silic-hiđrô bậc cao hơn. Trong số đó, monosilan là phổ biến nhất, đôi khi được gọi tắt là silan. Silan là một chất khí không màu, có mùi tỏi khó chịu. Tan trong nước, hầu như không tan trong etanol, ete, benzen, clorofom, silic clorofom và silic tetraclorua. Tính chất hóa học của silan hoạt động mạnh hơn nhiều so với ankan và dễ bị oxy hóa. Có thể xảy ra tự bốc cháy khi tiếp xúc với không khí. Nó không phản ứng với nitơ ở nhiệt độ dưới 25°C và không phản ứng với các hợp chất hiđrocacbon ở nhiệt độ phòng. Cháy nổ silan là kết quả của phản ứng với oxy. Silan cực kỳ nhạy cảm với oxy và không khí. Silan ở một nồng độ nhất định cũng sẽ phản ứng nổ với oxy ở nhiệt độ -180°C. Silan đã trở thành loại khí đặc biệt quan trọng nhất được sử dụng trong các quy trình vi điện tử bán dẫn và được sử dụng để chế tạo nhiều loại màng vi điện tử, bao gồm màng đơn tinh thể, vi tinh thể, đa tinh thể, oxit silic, nitrua silic và silicide kim loại. Các ứng dụng vi điện tử của silan vẫn đang phát triển theo chiều sâu: epitaxy nhiệt độ thấp, epitaxy chọn lọc và epitaxy dị epitaxy. Không chỉ cho các thiết bị silic và mạch tích hợp silic, mà còn cho các thiết bị bán dẫn hợp chất (gali arsenide, silic carbide, v.v.). Nó cũng có ứng dụng trong việc chế tạo vật liệu giếng lượng tử siêu mạng. Có thể nói rằng silan được sử dụng trong hầu hết các dây chuyền sản xuất mạch tích hợp tiên tiến hiện đại. Ứng dụng của silan dưới dạng màng và lớp phủ chứa silic đã mở rộng từ ngành công nghiệp vi điện tử truyền thống sang nhiều lĩnh vực khác nhau như thép, máy móc, hóa chất và quang học. Một ứng dụng tiềm năng khác của silan là sản xuất các bộ phận động cơ gốm hiệu suất cao, đặc biệt là việc sử dụng silan để sản xuất silicide (Si3N4, SiC, v.v.) công nghệ bột vi mô đã thu hút ngày càng nhiều sự chú ý.

Ứng dụng:

①Điện tử:

Silane được sử dụng cho các lớp silicon đa tinh thể trên các tấm wafer silicon khi sản xuất chất bán dẫn và chất bịt kín.

②Năng lượng mặt trời:

Silane được sử dụng trong sản xuất mô-đun quang điện mặt trời.

③Công nghiệp:

Được sử dụng trong Kính xanh tiết kiệm năng lượng và áp dụng cho quy trình lắng đọng màng mỏng bằng hơi.

Gói thông thường:

Lợi thế:

①Hơn mười năm có mặt trên thị trường;

②Nhà sản xuất đạt chứng chỉ ISO;

③Giao hàng nhanh chóng;

④Nguồn nguyên liệu ổn định;

⑤Hệ thống phân tích trực tuyến để kiểm soát chất lượng ở mọi bước;

⑥Yêu cầu cao và quy trình xử lý xi lanh tỉ mỉ trước khi nạp;

⑦Độ tinh khiết: cấp độ điện tử có độ tinh khiết cao;

⑧Công dụng: vật liệu pin mặt trời; sản xuất polysilicon, oxit silic và sợi quang có độ tinh khiết cao; sản xuất kính màu.