Silan (SiH4)

Thông số kỹ thuật

Silane là một hợp chất của silicon và hydro. Nó là thuật ngữ chung cho một loạt các hợp chất, bao gồm monosilane (SiH4), disilane (Si2H6) và một số hợp chất silicon-hydro cấp cao hơn. Trong số đó, monosilane là phổ biến nhất, đôi khi được gọi tắt là silane. Silane là một chất khí không màu, có mùi tỏi khó chịu. Hòa tan trong nước, hầu như không hòa tan trong ethanol, ether, benzen, chloroform, silicon chloroform và silicon tetrachloride. Tính chất hóa học của silan hoạt động mạnh hơn nhiều so với ankan và dễ bị oxy hóa. Sự cháy tự phát có thể xảy ra khi tiếp xúc với không khí. Nó không phản ứng với nitơ dưới 25°C và không phản ứng với các hợp chất hydrocarbon ở nhiệt độ phòng. Cháy nổ của silan là kết quả của phản ứng với oxy. Silane cực kỳ nhạy cảm với oxy và không khí. Silane với nồng độ nhất định cũng sẽ phản ứng nổ với oxy ở nhiệt độ -180°C. Silane đã trở thành loại khí đặc biệt quan trọng nhất được sử dụng trong các quy trình vi điện tử bán dẫn và được sử dụng để điều chế các loại màng vi điện tử khác nhau, bao gồm màng đơn tinh thể, vi tinh thể, đa tinh thể, oxit silic, silicon nitrit và silicua kim loại. Các ứng dụng vi điện tử của silane vẫn đang phát triển theo chiều sâu: epit Wax nhiệt độ thấp, epit Wax chọn lọc và epitaxy dị vòng. Không chỉ dành cho các thiết bị silicon và mạch tích hợp silicon mà còn dành cho các thiết bị bán dẫn hỗn hợp (gallium arsenide, silicon Carbide, v.v.). Nó cũng có ứng dụng trong việc chuẩn bị vật liệu giếng lượng tử siêu mạng. Có thể nói, silane được sử dụng trong hầu hết các dây chuyền sản xuất mạch tích hợp tiên tiến ở thời hiện đại. Ứng dụng của silane làm màng và lớp phủ chứa silicon đã mở rộng từ ngành vi điện tử truyền thống sang các lĩnh vực khác nhau như thép, máy móc, hóa chất và quang học. Một ứng dụng tiềm năng khác của silane là sản xuất các bộ phận động cơ gốm hiệu suất cao, đặc biệt là việc sử dụng silane để sản xuất công nghệ vi hạt silicide (Si3N4, SiC, v.v.) ngày càng thu hút được nhiều sự chú ý.

Ứng dụng:

①Điện tử:

Silane được áp dụng cho các lớp silicon đa tinh thể trên tấm silicon khi sản xuất chất bán dẫn và chất bịt kín.

②Mặt trời:

Silane được sử dụng trong sản xuất mô-đun quang điện mặt trời.

③Công nghiệp:

Nó được sử dụng trong Kính xanh tiết kiệm năng lượng và áp dụng cho quy trình màng mỏng lắng đọng hơi.

Gói thông thường:

Lợi thế:

①Hơn mười năm có mặt trên thị trường;

②Nhà sản xuất chứng chỉ ISO;

③Giao hàng nhanh;

④Nguồn nguyên liệu ổn định;

⑤Hệ thống phân tích trực tuyến để kiểm soát chất lượng trong từng bước;

⑥Yêu cầu cao và quy trình xử lý xi lanh tỉ mỉ trước khi đổ đầy;

⑦ Độ tinh khiết: loại điện tử có độ tinh khiết cao;

⑧Sử dụng: vật liệu pin mặt trời; sản xuất polysilicon, oxit silic và sợi quang có độ tinh khiết cao; sản xuất kính màu.