Là gìCarbon tetrafluoride? Việc sử dụng là gì?
Carbon tetrafluoride, còn được gọi là tetrafluoromethane, được coi là một hợp chất vô cơ. Nó được sử dụng trong quá trình khắc plasma của các mạch tích hợp khác nhau, và cũng được sử dụng làm khí laser và chất làm lạnh. Nó tương đối ổn định dưới nhiệt độ và áp suất bình thường, nhưng cần phải tránh tiếp xúc với các chất oxy hóa mạnh, vật liệu dễ cháy hoặc dễ cháy. Carbon tetrafluoride là một loại khí không cháy. Nếu nó gặp nhiệt độ cao, nó sẽ khiến áp lực bên trong của container tăng lên, và có nguy cơ nứt và nổ. Thông thường nó chỉ có thể tương tác với thuốc thử kim loại amoniac-natri lỏng ở nhiệt độ phòng.
Carbon tetrafluoridehiện là khí khắc huyết tương lớn nhất được sử dụng trong ngành công nghiệp vi điện tử. Nó có thể được sử dụng rộng rãi trong việc khắc silicon, silicon dioxide, thủy tinh phosphosilicate và các vật liệu màng mỏng khác, làm sạch bề mặt của các thiết bị điện tử, sản xuất tế bào mặt trời, công nghệ laser, cách nhiệt pha, chất làm lạnh nhiệt độ thấp, chất phát hiện rò rỉ.
Thời gian đăng: Nov-01-2021