Điện tửkhí đặc biệtlà một nhánh quan trọng của khí đặc biệt. Chúng thâm nhập vào hầu hết mọi khâu sản xuất chất bán dẫn và là nguyên liệu thô không thể thiếu cho sản xuất các ngành công nghiệp điện tử như mạch tích hợp siêu lớn, thiết bị hiển thị màn hình phẳng và pin mặt trời.

Trong công nghệ bán dẫn, khí chứa flo được sử dụng rộng rãi. Hiện nay, trên thị trường khí điện tử toàn cầu, khí chứa flo chiếm khoảng 30% tổng lượng khí. Khí chứa flo là một thành phần quan trọng của khí điện tử chuyên dụng trong lĩnh vực vật liệu thông tin điện tử. Chúng chủ yếu được sử dụng làm chất tẩy rửa và chất khắc, và cũng có thể được sử dụng làm chất pha tạp, vật liệu tạo màng, v.v. Trong bài viết này, tác giả sẽ giới thiệu cho bạn các loại khí chứa flo phổ biến.

Sau đây là những loại khí chứa flo thường được sử dụng

Nitơ triflorua (NF3): Một loại khí được sử dụng để làm sạch và loại bỏ cặn bẩn, thường được dùng để làm sạch buồng phản ứng và bề mặt thiết bị.

Lưu huỳnh hexafluoride (SF6): Một tác nhân flo hóa được sử dụng trong quá trình lắng đọng oxit và như một loại khí cách điện để làm đầy vật liệu cách điện.

Hiđrô florua (HF): Được sử dụng để loại bỏ oxit khỏi bề mặt silicon và làm chất khắc để khắc silicon và các vật liệu khác.

Nitơ florua (NF): Được sử dụng để khắc các vật liệu như silicon nitride (SiN) và nhôm nitride (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) vàtetrafluoromethane (CF4): Được sử dụng để khắc các vật liệu florua như silicon florua và nhôm florua.

Tuy nhiên, các loại khí có chứa flo có một số nguy hiểm nhất định, bao gồm độc tính, ăn mòn và dễ cháy.

Độc tính

Một số loại khí có chứa flo là chất độc, chẳng hạn như hydro florua (HF), hơi của nó gây kích ứng mạnh cho da và đường hô hấp, đồng thời gây hại cho sức khỏe con người.

Tính ăn mòn

Hydro florua và một số loại florua có tính ăn mòn cao và có thể gây tổn thương nghiêm trọng cho da, mắt và đường hô hấp.

Tính dễ cháy

Một số florua dễ cháy và phản ứng với oxy hoặc nước trong không khí để giải phóng nhiệt lượng lớn và khí độc, có thể gây ra hỏa hoạn hoặc nổ.

Nguy cơ áp suất cao

Một số loại khí flo có khả năng nổ ở áp suất cao và cần được chăm sóc đặc biệt khi sử dụng và lưu trữ.

Tác động đến môi trường

Các loại khí chứa flo có tuổi thọ trong khí quyển và giá trị GWP cao, có tác động phá hoại tầng ôzôn trong khí quyển và có thể gây ra hiện tượng nóng lên toàn cầu và ô nhiễm môi trường.

Việc ứng dụng khí gas trong các lĩnh vực mới nổi như điện tử tiếp tục được đẩy mạnh, mang lại nhu cầu khí gas công nghiệp mới lớn. Dựa trên năng lực sản xuất mới lớn của các linh kiện điện tử chủ chốt như chất bán dẫn và tấm nền màn hình tại Trung Quốc đại lục trong vài năm tới, cùng với nhu cầu mạnh mẽ về vật liệu hóa chất điện tử thay thế nhập khẩu, ngành công nghiệp khí gas điện tử trong nước sẽ đạt tốc độ tăng trưởng cao.