Điện tửKhí đặc biệtlà một nhánh quan trọng của các loại khí đặc biệt. Chúng thâm nhập vào hầu hết mọi liên kết của sản xuất chất bán dẫn và là nguyên liệu thô không thể thiếu để sản xuất các ngành công nghiệp điện tử như mạch tích hợp quy mô cực lớn, thiết bị hiển thị bảng điều khiển phẳng và pin mặt trời.

Trong công nghệ bán dẫn, khí chứa flo được sử dụng rộng rãi. Hiện tại, tại thị trường khí điện tử toàn cầu, các loại khí điện tử chứa fluorine chiếm khoảng 30% tổng số. Khí điện tử chứa fluorine là một thành phần quan trọng của các khí điện tử đặc biệt trong lĩnh vực vật liệu thông tin điện tử. Chúng chủ yếu được sử dụng làm chất làm sạch và chất khắc, và cũng có thể được sử dụng làm chất dopants, vật liệu hình thành phim, v.v. Trong bài viết này, tác giả sẽ đưa bạn hiểu các loại khí có chứa flo phổ biến.

Sau đây là các loại khí chứa flo thường được sử dụng

Nitrogen trifluoride (NF3): Một loại khí được sử dụng để làm sạch và loại bỏ tiền gửi, thường được sử dụng để làm sạch các buồng phản ứng và bề mặt thiết bị.

Lưu huỳnh Hexafluoride (SF6): Một tác nhân fluorinating được sử dụng trong các quá trình lắng đọng oxit và như một loại khí cách điện để lấp đầy môi trường cách điện.

Hydrogen fluoride (HF): Được sử dụng để loại bỏ các oxit khỏi bề mặt silicon và như một etchant để khắc silicon và các vật liệu khác.

Nitrogen Fluoride (NF): Được sử dụng để khắc các vật liệu như silicon nitride (SIN) và nhôm nitride (ALN).

Trifluoromethane (CHF3) vàtetrafluoromethane (CF4): Được sử dụng để khắc các vật liệu fluoride như silicon fluoride và nhôm florua.

Tuy nhiên, khí chứa fluorine có những nguy hiểm nhất định, bao gồm độc tính, tính ăn mòn và dễ cháy.

Độc tính

Một số khí chứa fluorine là độc hại, chẳng hạn như hydro fluoride (HF), có hơi nước rất khó chịu với da và đường hô hấp và có hại cho sức khỏe con người.

Sự ăn mòn

Hydrogen fluoride và một số fluoride có tính ăn mòn cao và có thể gây tổn thương nghiêm trọng cho da, mắt và đường hô hấp.

Dễ cháy

Một số fluoride dễ cháy và phản ứng với oxy hoặc nước trong không khí để giải phóng nhiệt và khí độc hại mạnh, có thể gây cháy hoặc nổ.

Nguy hiểm áp suất cao

Một số khí fluorin bị nổ dưới áp suất cao và cần được chăm sóc đặc biệt khi sử dụng và lưu trữ.

Tác động đến môi trường

Khí chứa fluorine có thời gian sống trong khí quyển cao và giá trị GWP, có tác dụng phá hủy đối với lớp ozone khí quyển và có thể gây ra sự nóng lên toàn cầu và ô nhiễm môi trường.

Việc áp dụng khí trong các lĩnh vực mới nổi như thiết bị điện tử tiếp tục tăng dần, mang lại một lượng lớn nhu cầu mới cho khí công nghiệp. Dựa trên lượng lớn năng lực sản xuất mới của các thành phần điện tử lớn như chất bán dẫn và bảng hiển thị tại Trung Quốc đại lục trong vài năm tới, cũng như nhu cầu thay thế mạnh mẽ vật liệu hóa học điện tử, ngành công nghiệp khí điện tử trong nước sẽ mở ra tốc độ tăng trưởng cao.