điện tửkhí đặc biệtlà một nhánh quan trọng của khí đặc biệt. Chúng thâm nhập vào hầu hết mọi mắt xích của sản xuất chất bán dẫn và là nguyên liệu thô không thể thiếu để sản xuất các ngành công nghiệp điện tử như mạch tích hợp quy mô cực lớn, thiết bị hiển thị màn hình phẳng và pin mặt trời.

Trong công nghệ bán dẫn, khí chứa flo được sử dụng rộng rãi. Hiện nay, trên thị trường khí điện tử toàn cầu, khí điện tử có chứa flo chiếm khoảng 30% tổng lượng. Khí điện tử chứa flo là thành phần quan trọng của khí điện tử đặc biệt trong lĩnh vực vật liệu thông tin điện tử. Chúng chủ yếu được sử dụng làm chất tẩy rửa và chất ăn mòn, đồng thời cũng có thể được sử dụng làm chất khử tạp chất, vật liệu tạo màng, v.v. Trong bài viết này, tác giả sẽ đưa bạn tìm hiểu các loại khí chứa flo thông thường.

Sau đây là các loại khí có chứa flo thường được sử dụng

Nitơ triflorua (NF3): Một loại khí dùng để làm sạch và loại bỏ cặn, thường được sử dụng để làm sạch buồng phản ứng và bề mặt thiết bị.

Lưu huỳnh hexaflorua (SF6): Một chất flo hóa được sử dụng trong quá trình lắng đọng oxit và làm khí cách điện để làm đầy vật liệu cách điện.

Hydrogen fluoride (HF): Được sử dụng để loại bỏ các oxit khỏi bề mặt silicon và làm chất ăn mòn để khắc silicon và các vật liệu khác.

Nitơ florua (NF): Được sử dụng để khắc các vật liệu như silicon nitride (SiN) và nhôm nitride (AlN).

Triflomethane (CHF3) vàtetraflomethane (CF4): Được sử dụng để khắc các vật liệu florua như silicon florua và nhôm florua.

Tuy nhiên, khí chứa flo có những nguy hiểm nhất định, bao gồm độc tính, ăn mòn và dễ cháy.

Độc tính

Một số loại khí có chứa flo độc hại, chẳng hạn như hydro florua (HF), hơi của loại khí này rất khó chịu cho da và đường hô hấp và có hại cho sức khỏe con người.

Ăn mòn

Hydro florua và một số florua có tính ăn mòn cao và có thể gây tổn thương nghiêm trọng cho da, mắt và đường hô hấp.

Tính dễ cháy

Một số florua dễ cháy và phản ứng với oxy hoặc nước trong không khí để giải phóng nhiệt độ cao và khí độc, có thể gây cháy hoặc nổ.

Nguy hiểm áp suất cao

Một số loại khí fluoride dễ nổ dưới áp suất cao và cần được chăm sóc đặc biệt khi sử dụng và bảo quản.

Tác động đến môi trường

Các khí chứa flo có tuổi thọ khí quyển và giá trị GWP cao, có tác động phá hủy tầng ozone trong khí quyển và có thể gây ra hiện tượng nóng lên toàn cầu và ô nhiễm môi trường.

Việc ứng dụng khí trong các lĩnh vực mới nổi như điện tử tiếp tục phát triển sâu rộng, mang lại một lượng lớn nhu cầu mới về khí công nghiệp. Dựa trên năng lực sản xuất mới của các linh kiện điện tử chính như chất bán dẫn và tấm hiển thị ở Trung Quốc đại lục trong vài năm tới, cũng như nhu cầu thay thế nhập khẩu vật liệu hóa học điện tử mạnh mẽ, ngành khí điện tử trong nước sẽ mở ra tốc độ tăng trưởng cao.