Điện tửkhí đặc biệtChúng là một nhánh quan trọng của các loại khí đặc biệt. Chúng tham gia vào hầu hết mọi khâu trong sản xuất chất bán dẫn và là nguyên liệu thô không thể thiếu cho sản xuất các ngành công nghiệp điện tử như mạch tích hợp siêu lớn, thiết bị màn hình phẳng và pin mặt trời.

Trong công nghệ bán dẫn, các khí chứa flo được sử dụng rộng rãi. Hiện nay, trên thị trường khí điện tử toàn cầu, khí điện tử chứa flo chiếm khoảng 30% tổng số. Khí điện tử chứa flo là một thành phần quan trọng của các loại khí điện tử đặc biệt trong lĩnh vực vật liệu thông tin điện tử. Chúng chủ yếu được sử dụng làm chất tẩy rửa và chất ăn mòn, và cũng có thể được sử dụng làm chất pha tạp, vật liệu tạo màng, v.v. Trong bài viết này, tác giả sẽ giúp bạn hiểu rõ hơn về các loại khí chứa flo phổ biến.

Sau đây là các khí chứa flo thường được sử dụng.

Nitơ triflorua (NF3): Một loại khí được sử dụng để làm sạch và loại bỏ cặn bẩn, thường được dùng để làm sạch buồng phản ứng và bề mặt thiết bị.

Lưu huỳnh hexafluoride (SF6): Một chất flo hóa được sử dụng trong các quy trình lắng đọng oxit và làm khí cách điện để lấp đầy môi trường cách điện.

Hydro florua (HF): Được sử dụng để loại bỏ oxit khỏi bề mặt silic và làm chất ăn mòn để khắc silic và các vật liệu khác.

Nitơ florua (NF): Được sử dụng để khắc các vật liệu như silic nitrua (SiN) và nhôm nitrua (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) vàtetrafluoromethane (CF4)Dùng để khắc các vật liệu chứa florua như silic florua và nhôm florua.

Tuy nhiên, các khí chứa flo tiềm ẩn một số nguy hiểm, bao gồm độc tính, tính ăn mòn và tính dễ cháy.

Độc tính

Một số khí chứa flo có độc tính, chẳng hạn như hydro florua (HF), hơi của nó gây kích ứng mạnh cho da và đường hô hấp, đồng thời gây hại cho sức khỏe con người.

Tính ăn mòn

Hydro florua và một số florua có tính ăn mòn cao và có thể gây tổn thương nghiêm trọng cho da, mắt và đường hô hấp.

Tính dễ cháy

Một số florua dễ cháy và phản ứng với oxy hoặc nước trong không khí để giải phóng nhiệt lượng cao và khí độc, có thể gây cháy hoặc nổ.

Nguy cơ áp suất cao

Một số khí flo hóa có thể gây nổ dưới áp suất cao và cần được sử dụng và bảo quản cẩn thận.

Tác động đến môi trường

Các khí chứa flo có thời gian tồn tại trong khí quyển cao và giá trị GWP lớn, gây ảnh hưởng xấu đến tầng ozone trong khí quyển và có thể gây ra hiện tượng nóng lên toàn cầu và ô nhiễm môi trường.

Việc ứng dụng khí trong các lĩnh vực mới nổi như điện tử ngày càng được mở rộng, tạo ra nhu cầu lớn về khí công nghiệp. Dựa trên năng lực sản xuất mới đáng kể của các linh kiện điện tử quan trọng như chất bán dẫn và màn hình hiển thị tại Trung Quốc đại lục trong vài năm tới, cũng như nhu cầu mạnh mẽ về thay thế nhập khẩu các vật liệu hóa học điện tử, ngành công nghiệp khí điện tử trong nước sẽ bước vào giai đoạn tăng trưởng cao.