Các loại khí điện tử đặc biệt chứa flo thường gặp bao gồm:sulfur hexafluoride (SF6), vonfram hexaflorua (WF6),cacbon tetraflorua (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitơ trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) và octafluoropropane (C3F8).
Với sự phát triển của công nghệ nano và sự phát triển quy mô lớn của ngành công nghiệp điện tử, nhu cầu về khí nitơ trifluoride sẽ ngày càng tăng. Nitơ trifluoride, với vai trò là một loại khí điện tử đặc biệt không thể thiếu và được sử dụng nhiều nhất trong sản xuất và gia công tấm nền và chất bán dẫn, có thị trường rộng lớn.
Là một loại khí đặc biệt có chứa flo,nitơ triflorua (NF3)Nitơ trifluorua là sản phẩm khí đặc biệt trong lĩnh vực điện tử có dung lượng thị trường lớn nhất. Nó trơ về mặt hóa học ở nhiệt độ phòng, hoạt động mạnh hơn oxy ở nhiệt độ cao, ổn định hơn flo và dễ sử dụng. Nitơ trifluorua chủ yếu được sử dụng làm khí khắc plasma và chất làm sạch buồng phản ứng, thích hợp cho các lĩnh vực sản xuất chip bán dẫn, màn hình phẳng, sợi quang, pin mặt trời, v.v.
So với các khí điện tử chứa flo khác,nitơ trifloruaNó có ưu điểm là phản ứng nhanh và hiệu quả cao. Đặc biệt trong việc khắc các vật liệu chứa silic như silicon nitride, nó có tốc độ khắc và độ chọn lọc cao, không để lại cặn trên bề mặt vật thể được khắc. Nó cũng là một chất làm sạch rất tốt và không gây ô nhiễm bề mặt, đáp ứng được nhu cầu của quá trình gia công.
Thời gian đăng bài: 14/09/2024
