Các loại khí điện tử đặc biệt có chứa flo phổ biến bao gồmlưu huỳnh hexafluoride (SF6), vonfram hexaflorua (WF6),cacbon tetraflorua (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitơ trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) và octafluoropropane (C3F8).
Với sự phát triển của công nghệ nano và sự phát triển quy mô lớn của ngành công nghiệp điện tử, nhu cầu về nó sẽ ngày càng tăng. Là một loại khí điện tử đặc biệt không thể thiếu và được sử dụng rộng rãi nhất trong sản xuất và chế biến tấm pin và chất bán dẫn, Nitơ triflorua có thị trường rộng lớn.
Là một loại khí đặc biệt có chứa flo,nitơ triflorua (NF3)Nitơ triflorua là sản phẩm khí đặc biệt điện tử có thị phần lớn nhất. Nó trơ về mặt hóa học ở nhiệt độ phòng, hoạt động mạnh hơn oxy ở nhiệt độ cao, ổn định hơn flo và dễ xử lý. Nitơ triflorua chủ yếu được sử dụng làm khí khắc plasma và chất làm sạch buồng phản ứng, thích hợp cho các lĩnh vực sản xuất chip bán dẫn, màn hình phẳng, sợi quang, pin quang điện, v.v.
So với các loại khí điện tử khác có chứa flo,nitơ trifloruaCó ưu điểm là phản ứng nhanh và hiệu quả cao. Đặc biệt trong quá trình khắc các vật liệu chứa silicon như silicon nitride, tốc độ khắc và độ chọn lọc cao, không để lại cặn trên bề mặt vật thể được khắc. Đây cũng là chất làm sạch rất tốt và không gây ô nhiễm bề mặt, đáp ứng nhu cầu của quy trình gia công.
Thời gian đăng: 14-09-2024
