Các loại khí điện tử đặc biệt có chứa flo thông thường bao gồmlưu huỳnh hexaflorua (SF6), vonfram hexaflorua (WF6),cacbon tetraflorua (CF4), triflomethane (CHF3), nitơ triflorua (NF3), hexafluoroethane (C2F6) và octafluoropropane (C3F8).
Với sự phát triển của công nghệ nano và sự phát triển quy mô lớn của ngành công nghiệp điện tử, nhu cầu về nó sẽ tăng lên từng ngày. Nitơ triflorua, là loại khí điện tử đặc biệt không thể thiếu và được sử dụng nhiều nhất trong sản xuất và xử lý tấm nền và chất bán dẫn, có không gian thị trường rộng lớn.
Là một loại khí đặc biệt có chứa flo,nitơ triflorua (NF3)là sản phẩm gas điện tử đặc biệt có công suất lớn nhất thị trường. Nó trơ về mặt hóa học ở nhiệt độ phòng, hoạt động mạnh hơn oxy ở nhiệt độ cao, ổn định hơn flo và dễ xử lý. Nitơ triflorua chủ yếu được sử dụng làm khí ăn mòn plasma và chất làm sạch buồng phản ứng, thích hợp cho các lĩnh vực sản xuất chip bán dẫn, màn hình phẳng, sợi quang, tế bào quang điện, v.v.
So với các loại khí điện tử có chứa flo khác,nitơ trifloruacó ưu điểm là phản ứng nhanh và hiệu quả cao. Đặc biệt trong quá trình khắc các vật liệu chứa silicon như silicon nitride, nó có tốc độ ăn mòn và độ chọn lọc cao, không để lại cặn trên bề mặt của vật được khắc. Nó cũng là một chất làm sạch rất tốt và không gây ô nhiễm bề mặt, có thể đáp ứng nhu cầu của quá trình xử lý.
Thời gian đăng: 14-09-2024
