Khí điện tử đặc biệt có chứa fluorine phổ biến bao gồmLưu huỳnh Hexafluoride (SF6), vonfram hexafluoride (WF6),Carbon tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitơ trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) và octtafluoropropane (C3F8).
Với sự phát triển của công nghệ nano và sự phát triển quy mô lớn của ngành công nghiệp điện tử, nhu cầu của nó sẽ tăng lên từng ngày. Nitrogen trifluoride, như một loại khí điện tử đặc biệt không thể thiếu và lớn nhất trong việc sản xuất và chế biến các tấm và chất bán dẫn, có không gian thị trường rộng.
Là một loại khí đặc biệt chứa flo,Nitrogen Trifluoride (NF3)là sản phẩm khí đặc biệt điện tử với công suất thị trường lớn nhất. Nó trơ về mặt hóa học ở nhiệt độ phòng, hoạt động mạnh hơn oxy ở nhiệt độ cao, ổn định hơn fluorine và dễ xử lý. Nitrogen trifluoride chủ yếu được sử dụng làm khí khắc huyết tương và chất làm sạch buồng phản ứng, và phù hợp cho các trường sản xuất chip bán dẫn, màn hình phẳng, sợi quang, tế bào quang điện, v.v.
So với các loại khí điện tử chứa fluorine khác,nitơ trifluoridecó những lợi thế của phản ứng nhanh và hiệu quả cao. Đặc biệt là trong việc khắc các vật liệu chứa silicon như silicon nitride, nó có tốc độ khắc cao và độ chọn lọc, không để lại dư lượng trên bề mặt của vật thể khắc. Nó cũng là một tác nhân làm sạch rất tốt và không có ô nhiễm trên bề mặt, có thể đáp ứng nhu cầu của quá trình xử lý.
Thời gian đăng: Tháng 9-14-2024
