Năm 2018, thị trường gas điện tử toàn cầu cho các mạch tích hợp đạt 4,512 tỷ USD, tăng 16% so với cùng kỳ năm ngoái.Tốc độ tăng trưởng cao của ngành công nghiệp khí đặc biệt điện tử cho chất bán dẫn và quy mô thị trường khổng lồ đã đẩy nhanh kế hoạch thay thế khí đặc biệt điện tử trong nước!
Khí điện tử là gì?
Khí điện tử đề cập đến nguyên liệu nguồn cơ bản được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, màn hình phẳng, điốt phát sáng, pin mặt trời và các sản phẩm điện tử khác, và được sử dụng rộng rãi trong quá trình làm sạch, khắc, tạo màng, pha tạp và các quy trình khác.Các lĩnh vực ứng dụng chính của khí điện tử bao gồm công nghiệp điện tử, pin mặt trời, thông tin liên lạc di động, điều hướng ô tô và hệ thống âm thanh và video ô tô, hàng không vũ trụ, công nghiệp quân sự và nhiều lĩnh vực khác.
Khí đặc biệt điện tử có thể được chia thành bảy loại theo thành phần hóa học riêng của nó: silicon, asen, phốt pho, boron, hydrua kim loại, halogenua và alkoxide kim loại.Theo các phương pháp ứng dụng khác nhau trong mạch tích hợp, nó có thể được chia thành khí pha tạp, khí epitaxy, khí cấy ion, khí đi-ốt phát sáng, khí khắc, khí lắng đọng hơi hóa học và khí cân bằng.Có hơn 110 đơn vị khí đặc biệt được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, trong đó hơn 30 loại thường được sử dụng.
Thông thường, ngành công nghiệp sản xuất chất bán dẫn chia khí thành hai loại: khí thông thường và khí đặc biệt.Trong số đó, khí thường được sử dụng đề cập đến nguồn cung cấp tập trung và sử dụng nhiều khí, chẳng hạn như N2, H2, O2, Ar, He, v.v. Khí đặc biệt đề cập đến một số loại khí hóa học được sử dụng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như mở rộng, phun ion, trộn, rửa và tạo mặt nạ, mà ngày nay chúng ta gọi là khí đặc biệt điện tử, chẳng hạn như SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, v.v.
Trong toàn bộ quy trình sản xuất của ngành công nghiệp bán dẫn, từ phát triển chip đến đóng gói thiết bị cuối cùng, hầu hết mọi liên kết đều không thể tách rời khỏi khí đặc biệt điện tử, và sự đa dạng của khí được sử dụng và yêu cầu chất lượng cao, vì vậy khí điện tử có vật liệu bán dẫn."Đồ ăn".
Trong những năm gần đây, các linh kiện điện tử chính của Trung Quốc như chất bán dẫn và bảng hiển thị đã tăng năng lực sản xuất mới và có nhu cầu mạnh mẽ về việc thay thế nhập khẩu các vật liệu hóa học điện tử.Vị trí của khí điện tử trong ngành công nghiệp bán dẫn ngày càng trở nên nổi bật.Ngành công nghiệp khí điện tử trong nước sẽ mở ra sự tăng trưởng nhanh chóng.
Khí đặc biệt điện tử có yêu cầu rất cao về độ tinh khiết, bởi vì nếu độ tinh khiết không đạt yêu cầu, các nhóm tạp chất như hơi nước và oxy trong khí đặc biệt điện tử sẽ dễ dàng tạo thành màng oxit trên bề mặt chất bán dẫn, ảnh hưởng đến tuổi thọ của các thiết bị điện tử và khí đặc biệt điện tử chứa Các hạt tạp chất có thể gây đoản mạch chất bán dẫn và hư hỏng mạch.Có thể nói, việc cải thiện độ tinh khiết đóng một vai trò quan trọng đối với năng suất và hiệu suất sản xuất thiết bị điện tử.
Với sự phát triển không ngừng của ngành công nghiệp bán dẫn, quy trình sản xuất chip tiếp tục được cải thiện và hiện tại nó đã đạt đến 5nm, sắp đạt đến giới hạn của Định luật Moore, tương đương với một phần hai mươi đường kính của sợi tóc người ( khoảng 0,1 mm).Do đó, điều này cũng đặt ra các yêu cầu cao hơn về độ tinh khiết của khí đặc biệt điện tử được sản xuất bởi chất bán dẫn.
Thời gian đăng bài: 15-Dec-2021
