Năm 2018, thị trường khí điện tử chuyên dụng toàn cầu cho mạch tích hợp đạt 4,512 tỷ đô la Mỹ, tăng 16% so với cùng kỳ năm trước. Tốc độ tăng trưởng cao của ngành khí điện tử chuyên dụng cho chất bán dẫn và quy mô thị trường khổng lồ đã thúc đẩy kế hoạch thay thế khí điện tử chuyên dụng trong nước!
Khí electron là gì?
Khí điện tử là nguyên liệu cơ bản được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, màn hình phẳng, điốt phát quang, pin mặt trời và các sản phẩm điện tử khác, được sử dụng rộng rãi trong các quy trình làm sạch, khắc, tạo màng, pha tạp và các quy trình khác. Các lĩnh vực ứng dụng chính của khí điện tử bao gồm ngành công nghiệp điện tử, pin mặt trời, thông tin di động, định vị ô tô và hệ thống âm thanh và video ô tô, hàng không vũ trụ, công nghiệp quân sự và nhiều lĩnh vực khác.
Khí đặc biệt điện tử có thể được chia thành bảy loại theo thành phần hóa học riêng: silic, asen, phốt pho, bo, hydride kim loại, halogenua và alkoxide kim loại. Theo các phương pháp ứng dụng khác nhau trong mạch tích hợp, nó có thể được chia thành khí pha tạp, khí epitaxy, khí cấy ion, khí diode phát quang, khí khắc, khí lắng đọng hơi hóa học và khí cân bằng. Có hơn 110 loại khí đặc biệt được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, trong đó hơn 30 loại được sử dụng phổ biến.
Nhìn chung, ngành công nghiệp sản xuất chất bán dẫn chia khí thành hai loại: khí thông thường và khí đặc biệt. Trong đó, khí thông thường là khí cung cấp tập trung và sử dụng nhiều loại khí, chẳng hạn như N2, H2, O2, Ar, He, v.v. Khí đặc biệt là một số loại khí hóa học được sử dụng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như kéo dài, phun ion, pha trộn, rửa và tạo mặt nạ, mà ngày nay chúng ta gọi là khí đặc biệt điện tử, chẳng hạn như SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, v.v.
Trong toàn bộ quá trình sản xuất của ngành công nghiệp bán dẫn, từ phát triển chip đến đóng gói thiết bị cuối cùng, hầu như mọi liên kết đều không thể tách rời khỏi khí điện tử đặc biệt và sự đa dạng của loại khí được sử dụng và yêu cầu chất lượng cao, vì vậy khí điện tử có vật liệu bán dẫn. "Thực phẩm".
Những năm gần đây, các linh kiện điện tử chủ chốt của Trung Quốc như chất bán dẫn và tấm nền màn hình đã tăng công suất sản xuất mới, nhu cầu thay thế nhập khẩu vật liệu hóa học điện tử ngày càng lớn. Vị thế của khí điện tử trong ngành công nghiệp bán dẫn ngày càng nổi bật. Ngành công nghiệp khí điện tử trong nước sẽ có sự tăng trưởng nhanh chóng.
Khí đặc chủng điện tử có yêu cầu rất cao về độ tinh khiết, bởi vì nếu độ tinh khiết không đạt yêu cầu, các nhóm tạp chất như hơi nước và oxy trong khí đặc chủng điện tử sẽ dễ dàng hình thành màng oxit trên bề mặt chất bán dẫn, ảnh hưởng đến tuổi thọ của thiết bị điện tử. Các hạt tạp chất trong khí đặc chủng điện tử có thể gây đoản mạch bán dẫn và hư hỏng mạch điện. Có thể nói, việc cải thiện độ tinh khiết đóng vai trò quan trọng đối với năng suất và hiệu suất sản xuất thiết bị điện tử.
Với sự phát triển không ngừng của ngành công nghiệp bán dẫn, quy trình sản xuất chip tiếp tục được cải thiện, hiện đã đạt đến 5nm, sắp đạt đến giới hạn của Định luật Moore, tương đương với một phần hai mươi đường kính sợi tóc người (khoảng 0,1mm). Do đó, điều này cũng đặt ra yêu cầu cao hơn về độ tinh khiết của khí điện tử đặc biệt do chất bán dẫn tạo ra.
Thời gian đăng: 15-12-2021
