Trong năm 2018, thị trường khí điện tử toàn cầu cho các mạch tích hợp đạt 4,512 tỷ USD, tăng 16%so với năm. Tốc độ tăng trưởng cao của ngành công nghiệp khí đặc biệt điện tử cho chất bán dẫn và quy mô thị trường khổng lồ đã tăng tốc kế hoạch thay thế trong nước của khí đặc biệt điện tử!
Khí electron là gì?
Khí điện tử đề cập đến vật liệu nguồn cơ bản được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, màn hình bảng phẳng, điốt phát sáng, pin mặt trời và các sản phẩm điện tử khác, và được sử dụng rộng rãi trong việc làm sạch, khắc, hình thành màng, doping và các quy trình khác. Các lĩnh vực ứng dụng chính của khí điện tử bao gồm ngành công nghiệp điện tử, pin mặt trời, truyền thông di động, điều hướng xe hơi và hệ thống âm thanh và âm thanh xe hơi, hàng không vũ trụ, công nghiệp quân sự và nhiều lĩnh vực khác.
Khí đặc biệt điện tử có thể được chia thành bảy loại theo thành phần hóa học của chính nó: silicon, arsenic, phốt pho, boron, kim loại hydride, halide và kim loại alkoxide. Theo các phương pháp ứng dụng khác nhau trong các mạch tích hợp, nó có thể được chia thành khí pha tạp, khí epitaxy, khí cấy ion, khí diode phát sáng, khí khắc, khí lắng đọng hóa chất và khí cân bằng. Có hơn 110 loại khí đặc biệt đơn vị được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, trong đó có hơn 30 loại thường được sử dụng.
Nói chung, ngành sản xuất bán dẫn chia khí thành hai loại: khí phổ biến và khí đặc biệt. Trong số đó, khí thường được sử dụng đề cập đến nguồn cung cấp tập trung và sử dụng nhiều khí, chẳng hạn như N2, H2, O2, AR, HE, v.v ... Khí đặc biệt đề cập đến một số khí hóa học được sử dụng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCl, CL2, v.v.
Trong toàn bộ quá trình sản xuất của ngành công nghiệp bán dẫn, từ tăng trưởng chip đến bao bì thiết bị cuối cùng, hầu hết mọi liên kết đều không thể tách rời với khí đặc biệt điện tử và sự đa dạng của các loại khí được sử dụng và yêu cầu chất lượng cao, vì vậy khí điện tử đều có vật liệu bán dẫn. "Đồ ăn".
Trong những năm gần đây, các thành phần điện tử lớn của Trung Quốc như chất bán dẫn và bảng hiển thị đã tăng năng lực sản xuất mới, và có nhu cầu thay thế nhập khẩu vật liệu hóa học điện tử. Vị trí của khí điện tử trong ngành công nghiệp bán dẫn đã trở nên ngày càng nổi bật. Ngành công nghiệp khí điện tử trong nước sẽ mở ra sự tăng trưởng nhanh chóng.
Khí đặc biệt điện tử có các yêu cầu rất cao về độ tinh khiết, bởi vì nếu độ tinh khiết không theo yêu cầu, các nhóm tạp chất như hơi nước và oxy trong khí đặc biệt điện tử sẽ dễ dàng tạo thành màng oxit trên bề mặt của chất bán dẫn, ảnh hưởng đến tuổi thọ của các thiết bị điện tử. Có thể nói rằng việc cải thiện độ tinh khiết đóng vai trò quan trọng trong năng suất và hiệu suất của sản xuất thiết bị điện tử.
Với sự phát triển liên tục của ngành công nghiệp bán dẫn, quy trình sản xuất chip tiếp tục được cải thiện, và bây giờ nó đã đạt 5nm, sắp tiếp cận giới hạn luật của Moore, tương đương với một phần trăm đường kính của tóc người (khoảng 0,1 mm). Do đó, điều này cũng đưa ra các yêu cầu cao hơn về độ tinh khiết của khí đặc biệt điện tử được sản xuất bởi chất bán dẫn.
Thời gian đăng: Tháng 12-15-2021
