Năm 2018, thị trường khí điện tử toàn cầu cho mạch tích hợp đạt 4,512 tỷ USD, tăng 16% so với cùng kỳ năm trước. Tốc độ tăng trưởng cao của ngành công nghiệp khí đặc biệt điện tử dành cho chất bán dẫn và quy mô thị trường khổng lồ đã đẩy nhanh kế hoạch thay thế khí đặc biệt điện tử trong nước!
Khí điện tử là gì?
Khí điện tử đề cập đến vật liệu nguồn cơ bản được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, màn hình phẳng, điốt phát sáng, pin mặt trời và các sản phẩm điện tử khác, và được sử dụng rộng rãi trong làm sạch, khắc, tạo màng, pha tạp và các quá trình khác. Các lĩnh vực ứng dụng chính của khí điện tử bao gồm công nghiệp điện tử, pin mặt trời, thông tin di động, điều hướng ô tô và hệ thống âm thanh và video trên ô tô, hàng không vũ trụ, công nghiệp quân sự và nhiều lĩnh vực khác.
Khí đặc biệt điện tử có thể được chia thành bảy loại theo thành phần hóa học riêng của nó: silicon, asen, phốt pho, boron, hydrua kim loại, halogenua và alkoxide kim loại. Theo các phương pháp ứng dụng khác nhau trong mạch tích hợp, nó có thể được chia thành khí doping, khí epitaxy, khí cấy ion, khí diode phát sáng, khí ăn mòn, khí lắng đọng hơi hóa học và khí cân bằng. Có hơn 110 loại khí đặc biệt được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, trong đó có hơn 30 loại được sử dụng phổ biến.
Thông thường, ngành sản xuất chất bán dẫn chia khí thành hai loại: khí thông thường và khí đặc biệt. Trong số đó, loại khí thường được sử dụng là nguồn cung cấp tập trung và sử dụng nhiều khí như N2, H2, O2, Ar, He, v.v. Khí đặc biệt dùng để chỉ một số loại khí hóa học được sử dụng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như mở rộng, phun ion, pha trộn, rửa và tạo mặt nạ, mà ngày nay chúng ta gọi là khí đặc biệt điện tử, như SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, v.v.
Trong toàn bộ quá trình sản xuất của ngành bán dẫn, từ quá trình phát triển chip đến đóng gói thiết bị cuối cùng, hầu hết mọi mắt xích đều không thể tách rời khỏi khí điện tử đặc biệt, và sự đa dạng của loại khí được sử dụng cũng như yêu cầu chất lượng cao, vì vậy khí điện tử có vật liệu bán dẫn. "Đồ ăn".
Trong những năm gần đây, năng lực sản xuất mới của các linh kiện điện tử chính như chất bán dẫn và màn hình hiển thị của Trung Quốc đã tăng lên và nhu cầu thay thế nhập khẩu vật liệu hóa học điện tử cũng rất lớn. Vị trí của khí điện tử trong ngành bán dẫn ngày càng trở nên nổi bật. Ngành công nghiệp khí điện tử trong nước sẽ mở ra sự tăng trưởng nhanh chóng.
Khí đặc biệt điện tử có yêu cầu rất cao về độ tinh khiết, vì nếu độ tinh khiết không đạt yêu cầu thì các nhóm tạp chất như hơi nước, oxy trong khí đặc biệt điện tử sẽ dễ hình thành màng oxit trên bề mặt chất bán dẫn, ảnh hưởng đến chất lượng. tuổi thọ sử dụng của các thiết bị điện tử và khí điện tử đặc biệt chứa Các hạt tạp chất có thể gây đoản mạch bán dẫn và hư hỏng mạch điện. Có thể nói, việc cải thiện độ tinh khiết đóng một vai trò quan trọng đến năng suất và hiệu suất sản xuất thiết bị điện tử.
Với sự phát triển không ngừng của ngành công nghiệp bán dẫn, quy trình sản xuất chip tiếp tục được cải thiện và hiện tại nó đã đạt tới 5nm, sắp đạt đến giới hạn của Định luật Moore, tương đương với một phần hai mươi đường kính của sợi tóc con người ( khoảng 0,1mm). Do đó, điều này cũng đặt ra yêu cầu cao hơn về độ tinh khiết của khí điện tử đặc biệt do chất bán dẫn tạo ra.
Thời gian đăng: 15-12-2021
