Trong quá trình sản xuất các xưởng đúc wafer bán dẫn với các quy trình sản xuất tương đối tiên tiến, gần 50 loại khí khác nhau là cần thiết. Khí thường được chia thành các loại khí khối vàKhí đặc biệt.

Áp dụng khí trong các ngành công nghiệp điện tử và chất bán dẫn Các công nghiệp sử dụng khí luôn đóng một vai trò quan trọng trong các quá trình bán dẫn, đặc biệt là các quá trình bán dẫn được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp khác nhau. Từ ULSI, TFT-LCD đến ngành công nghiệp cơ điện tử (MEMS) hiện tại, các quy trình bán dẫn được sử dụng làm quy trình sản xuất sản phẩm, bao gồm khắc khô, oxy hóa, cấy ion, lắng đọng màng mỏng, v.v.

Ví dụ, nhiều người biết rằng các chip được làm từ cát, nhưng nhìn vào toàn bộ quá trình sản xuất chip, cần nhiều vật liệu hơn, chẳng hạn như chất phát quang, chất lỏng đánh bóng, vật liệu đích, khí đặc biệt, v.v. là không thể thiếu. Bao bì back-end cũng yêu cầu chất nền, máy interpos, khung chì, vật liệu liên kết, vv của các vật liệu khác nhau. Khí đặc biệt điện tử là vật liệu lớn thứ hai trong chi phí sản xuất chất bán dẫn sau các tấm silicon, tiếp theo là mặt nạ và chất quang dẫn.

Độ tinh khiết của khí có ảnh hưởng quyết định đến hiệu suất thành phần và năng suất sản phẩm, và sự an toàn của việc cung cấp khí có liên quan đến sức khỏe của nhân sự và sự an toàn của hoạt động của nhà máy. Tại sao độ tinh khiết của khí có tác động lớn như vậy đến dòng quá trình và nhân sự? Đây không phải là một cường điệu, nhưng được xác định bởi các đặc điểm nguy hiểm của chính khí.

Phân loại các loại khí phổ biến trong ngành công nghiệp bán dẫn

Khí bình thường

Khí thông thường còn được gọi là khí khối lượng lớn: nó đề cập đến khí công nghiệp với yêu cầu độ tinh khiết thấp hơn 5N và khối lượng sản xuất và bán hàng lớn. Nó có thể được chia thành khí tách không khí và khí tổng hợp theo các phương pháp chuẩn bị khác nhau. Hydrogen (H2), nitơ (N2), oxy (O2), argon (A2), v.v .;

Khí đặc biệt

Khí đặc biệt đề cập đến khí công nghiệp được sử dụng trong các lĩnh vực cụ thể và có các yêu cầu đặc biệt về độ tinh khiết, đa dạng và tính chất. Chủ yếuSIH4, PH3, B2H6, A8H3,HCl, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… Và như vậy.

Các loại khí Spicial

Các loại khí đặc biệt: ăn mòn, độc hại, dễ cháy, hỗ trợ đốt cháy, trơ, v.v.
Khí bán dẫn thường được sử dụng được phân loại như sau:
(i) ăn mòn/độc hại:HCl、 Bf3 、 wf6 、 hbr 、 sih2cl2 、 NH3 、 Ph3 、 cl2 、BCL3…
(ii) dễ cháy: H2CH4、SIH4Ph3 、 AS3 、 SIH2Cl2 、 B2H6 CH2F2 CH3F 、 CO
(iii) dễ cháy: O2 、 cl2 、 n2o 、 nf3
(iv) trơ: n2 、CF4、 C2F6 、C4F8、SF6、 CO2Ne、Kr,Anh ta…

Trong quá trình sản xuất chip bán dẫn, khoảng 50 loại khí đặc biệt khác nhau (được gọi là khí đặc biệt) được sử dụng trong quá trình oxy hóa, khuếch tán, lắng đọng, khắc, tiêm, quang hóa và các quá trình khác, và tổng số các bước quá trình vượt quá hàng trăm. Ví dụ, pH3 và ASS3 được sử dụng làm nguồn phốt pho và asen trong quá trình cấy ion, khí F dựa trên F CF4, CHF3, SF6 và halogen CI2, BCI3, HBR thường được sử dụng trong quá trình khắc

Từ các khía cạnh trên, chúng ta có thể hiểu rằng nhiều khí bán dẫn có hại cho cơ thể con người. Đặc biệt, một số khí, chẳng hạn như SIH4, đang tự biến đổi. Miễn là chúng bị rò rỉ, chúng sẽ phản ứng dữ dội với oxy trong không khí và bắt đầu cháy; và ASH3 rất độc hại. Bất kỳ rò rỉ nhẹ nào cũng có thể gây hại cho cuộc sống của mọi người, vì vậy các yêu cầu về sự an toàn của thiết kế hệ thống điều khiển đối với việc sử dụng các loại khí đặc biệt đặc biệt cao.

Chất bán dẫn yêu cầu khí tinh khiết cao phải có ba độ

Độ tinh khiết khí

Hàm lượng của bầu không khí tạp chất trong khí thường được biểu thị bằng phần trăm độ tinh khiết của khí, chẳng hạn như 99,9999%. Nói chung, yêu cầu độ tinh khiết đối với các loại khí đặc biệt điện tử đạt 5n-6N, và cũng được biểu thị bằng tỷ lệ khối lượng của nội dung khí quyển tạp chất PPM (một phần triệu), PPB (phần tỷ) và PPT (phần hàng nghìn tỷ). Trường bán dẫn điện tử có yêu cầu cao nhất về độ tinh khiết và chất lượng của các loại khí đặc biệt, và độ tinh khiết của các loại khí đặc biệt điện tử thường lớn hơn 6N.

Khô

Hàm lượng nước theo dõi trong khí, hoặc độ ẩm, thường được thể hiện ở điểm sương, chẳng hạn như điểm sương trong khí quyển -70.

Sạch sẽ

Số lượng các hạt gây ô nhiễm trong khí, các hạt có kích thước hạt của Muffm, được biểu thị bằng bao nhiêu hạt/m3. Đối với không khí nén, nó thường được biểu thị bằng mg/m3 của dư lượng rắn không thể tránh khỏi, bao gồm hàm lượng dầu.