Hiđro clorualà một chất khí không màu, có mùi hăng. Dung dịch nước của nó được gọi là axit clohydric, còn gọi là axit clohydric. Hiđro clorua rất dễ tan trong nước. Ở 0°C, 1 thể tích nước có thể hòa tan khoảng 500 thể tích hiđro clorua.

Nó có các tính chất và đặc điểm sau:

1. Độ tinh khiết cao

Độ tinh khiết của cấp điện tửhydro cloruarất cao, thường ở mức ppm hoặc thấp hơn, để đảm bảo không có tạp chất nào xâm nhập vào quá trình sản xuất chất bán dẫn.

2. Tính trơ

Đây là loại khí trơ về mặt hóa học, không phản ứng với nhiều chất khác, rất quan trọng để ngăn ngừa ô nhiễm vật liệu và thiết bị bán dẫn.

3. Độ ổn định cao

Cấp điện tửhydro cloruathường có tính chất hóa học ổn định để đảm bảo quá trình xử lý bán dẫn đáng tin cậy.

Trong chế biến chất bán dẫn, các ứng dụng chính của hydro clorua cấp điện tử bao gồm:

1. Vệ sinh và chuẩn bị bề mặt

Là chất tẩy rửa bề mặt hiệu quả, cấp độ điện tửhydro cloruađược sử dụng để loại bỏ oxit và tạp chất khỏi bề mặt chất nền nhằm đảm bảo chất lượng và độ tinh khiết của lớp epitaxy hoặc màng phim.

2. Chất hỗ trợ tăng trưởng epitaxy

Được sử dụng như một tác nhân xử lý bề mặt trong quá trình epitaxial, giúp cải thiện chất lượng của lớp epitaxial, cải thiện sự khớp mạng tinh thể và giảm sự hình thành các khuyết tật mạng tinh thể.

3. Xử lý nền trước

Trước khi chuẩn bị các thiết bị bán dẫn, cấp điện tửhydro cloruacó thể được sử dụng để xử lý bề mặt nền để tạo thành một lớp nền ổn định nhằm cải thiện độ bám dính giữa lớp epitaxy và nền.

4. Chất phụ trợ lắng đọng

Trong quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) hoặc lắng đọng hơi vật lý (PVD), hydro clorua cấp điện tử có thể được sử dụng làm môi trường truyền pha khí để tham gia vào phản ứng lắng đọng vật liệu bán dẫn.

5. Chất chuyển pha khí

Với tư cách là tác nhân chuyển pha khí, các tiền chất khí khác được đưa vào buồng phản ứng để giúp điều chỉnh tốc độ lắng đọng và tính đồng nhất của vật liệu.

Những đặc điểm này làm cho cấp điện tửhydro cloruamột tác nhân xử lý quan trọng trong công nghệ bán dẫn, có tác động chính đến hiệu suất và độ tin cậy của thiết bị cuối cùng.

Ngoài việc sử dụng trong quá trình xử lý chất bán dẫn, hydro clorua cấp điện tử còn có thể được sử dụng trong nhiều lĩnh vực khác, bao gồm: Chuẩn bị vật liệu có độ tinh khiết cao, Pin nhiên liệu, Phát triển vật liệu bán dẫn, Quang khắc pha hơi, Phân tích vật liệu, Nghiên cứu hóa học.

Nói chung, cấp điện tửhydro clorualà một loại khí đa năng, có độ tinh khiết cao, có nhiều ứng dụng ngoài lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn.