Hydrogen clorualà một khí không màu với mùi cay nồng. Dung dịch nước của nó được gọi là axit clohydric, còn được gọi là axit clohydric. Hydrogen clorua rất hòa tan trong nước. Ở 0 ° C, 1 thể tích nước có thể hòa tan khoảng 500 thể tích hydro clorua.

Nó có các thuộc tính và đặc điểm sau:

1. Độ tinh khiết cao

Độ tinh khiết của lớp điện tửHydrogen clorualà rất cao, thường ở mức ppm hoặc cấp thấp hơn, để đảm bảo rằng không có tạp chất nào được đưa vào quy trình sản xuất bán dẫn.

2. Hòa nhập

Đó là một loại khí trơ hóa học không phản ứng với nhiều chất khác, điều này rất quan trọng để ngăn ngừa ô nhiễm các vật liệu và thiết bị bán dẫn.

3. Tính ổn định cao

Lớp điện tửHydrogen cloruaNói chung có hóa học ổn định để đảm bảo xử lý chất bán dẫn đáng tin cậy.

Trong xử lý chất bán dẫn, các ứng dụng chính của hydro clorua cấp điện tử bao gồm:

1. Làm sạch và chuẩn bị bề mặt

Là một chất tẩy rửa bề mặt hiệu quả, cấp điện tửHydrogen cloruađược sử dụng để loại bỏ các oxit và tạp chất khỏi bề mặt chất nền để đảm bảo chất lượng và độ tinh khiết của lớp hoặc màng epiticular.

2. Viện trợ tăng trưởng của trục

Được sử dụng như một tác nhân xử lý bề mặt trong quá trình epiticular, nó giúp cải thiện chất lượng của lớp epiticular, cải thiện kết hợp mạng và giảm sự hình thành các khuyết tật mạng.

3. Tiền xử lý cơ chất

Trước khi chuẩn bị các thiết bị bán dẫn, lớp điện tửHydrogen cloruacó thể được sử dụng để xử lý bề mặt cơ chất để tạo thành một cơ sở ổn định để cải thiện độ bám dính giữa lớp epiticular và chất nền.

4. Tác nhân phụ trợ lắng đọng

Trong quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) hoặc lắng đọng hơi vật lý (PVD), hydro clorua cấp điện tử có thể được sử dụng làm môi trường truyền pha khí để tham gia vào phản ứng lắng đọng của vật liệu bán dẫn.

5. Tác nhân chuyển pha khí

Là một tác nhân truyền pha khí, các tiền chất khí khác được đưa vào buồng phản ứng để giúp điều chỉnh tốc độ lắng đọng và tính đồng nhất của vật liệu.

Những đặc điểm này làm cho lớp điện tửHydrogen cloruaMột tác nhân xử lý quan trọng trong công nghệ bán dẫn, có tác động chính đến hiệu suất và độ tin cậy của thiết bị cuối cùng.

Ngoài việc sử dụng trong quá trình xử lý chất bán dẫn, hydro clorua cấp điện tử có thể tìm thấy nhiều cách sử dụng khác nhau trong các lĩnh vực khác, bao gồm: chuẩn bị vật liệu có độ tinh khiết cao, pin nhiên liệu, tăng trưởng vật liệu bán dẫn, in thạch bản pha hơi, phân tích vật liệu, nghiên cứu hóa học.

Nói chung, lớp điện tửHydrogen clorualà một loại khí tinh khiết đa năng, có nhiều ứng dụng bên ngoài sản xuất chất bán dẫn.