Boron trichloride (BCl3)Đây là một hợp chất vô cơ thường được sử dụng trong các quy trình khắc khô và lắng đọng hơi hóa học (CVD) trong sản xuất chất bán dẫn. Nó là một chất khí không màu, có mùi hăng nồng ở nhiệt độ phòng và nhạy cảm với không khí ẩm vì nó bị thủy phân tạo ra axit clohydric và axit boric.

Ứng dụng của Boron Trichloride

Trong ngành công nghiệp bán dẫn,Boron trichlorideBoron trichloride chủ yếu được sử dụng để khắc khô nhôm và làm chất pha tạp để tạo các vùng bán dẫn loại P trên tấm silicon. Nó cũng có thể được sử dụng để khắc các vật liệu như GaAs, Si, AlN và làm nguồn boron trong một số ứng dụng cụ thể. Ngoài ra, boron trichloride được sử dụng rộng rãi trong gia công kim loại, công nghiệp thủy tinh, phân tích hóa học và nghiên cứu trong phòng thí nghiệm.

Tính an toàn của Boron Trichloride

Boron trichlorideChất này có tính ăn mòn và độc hại, có thể gây tổn thương nghiêm trọng cho mắt và da. Nó bị thủy phân trong không khí ẩm để giải phóng khí hydro clorua độc hại. Do đó, cần phải thực hiện các biện pháp an toàn thích hợp khi xử lý chất này.Boron trichlorideBao gồm việc mặc quần áo bảo hộ, đeo kính bảo hộ và thiết bị bảo vệ đường hô hấp, đồng thời làm việc trong môi trường thông gió tốt.