Boron Trichloride (BCL3)là một hợp chất vô cơ thường được sử dụng trong các quá trình lắng đọng hơi khô và hơi hóa học (CVD) trong sản xuất chất bán dẫn. Nó là một loại khí không màu với mùi cay nồng ở nhiệt độ phòng và nhạy cảm với không khí ẩm vì nó thủy phân để sản xuất axit clohydric và axit boric.

Ứng dụng của Boron Trichloride

Trong ngành công nghiệp bán dẫn,Boron Trichloridechủ yếu được sử dụng để khắc khô của nhôm và như một chất dopant để tạo thành các vùng pe p trên các tấm silicon. Nó cũng có thể được sử dụng để khắc các vật liệu như GaAs, SI, ALN và làm nguồn boron trong các ứng dụng cụ thể nhất định. Ngoài ra, Boron trichloride được sử dụng rộng rãi trong chế biến kim loại, ngành thủy tinh, phân tích hóa học và nghiên cứu phòng thí nghiệm.

An toàn của Boron Trichloride

Boron Trichloridelà ăn mòn và độc hại và có thể gây ra tổn thương nghiêm trọng cho mắt và da. Nó thủy phân trong không khí ẩm để giải phóng khí clorua độc hại. Do đó, các biện pháp an toàn thích hợp cần phải được thực hiện khi xử lýBoron Trichloride, bao gồm mặc quần áo bảo vệ, kính bảo hộ và thiết bị bảo vệ hô hấp, và hoạt động trong một môi trường thông thoáng.