Bo trichloride (BCl3)là một hợp chất vô cơ thường được sử dụng trong quá trình khắc khô và lắng đọng hơi hóa học (CVD) trong sản xuất chất bán dẫn. Đây là một loại khí không màu, có mùi hăng mạnh ở nhiệt độ phòng và nhạy cảm với không khí ẩm vì nó thủy phân tạo ra axit clohydric và axit boric.

Ứng dụng của Boron Trichloride

Trong ngành công nghiệp bán dẫn,Bo trichlorideChủ yếu được sử dụng để khắc khô nhôm và làm chất pha tạp để tạo vùng loại P trên wafer silicon. Nó cũng có thể được sử dụng để khắc các vật liệu như GaAs, Si, AlN, và làm nguồn boron trong một số ứng dụng cụ thể. Ngoài ra, Bo triclorua còn được sử dụng rộng rãi trong gia công kim loại, công nghiệp thủy tinh, phân tích hóa học và nghiên cứu trong phòng thí nghiệm.

Độ an toàn của Boron Trichloride

Bo trichloridecó tính ăn mòn và độc hại, có thể gây tổn thương nghiêm trọng cho mắt và da. Nó thủy phân trong không khí ẩm và giải phóng khí hydro clorua độc hại. Do đó, cần áp dụng các biện pháp an toàn thích hợp khi xử lý.Bo trichloridebao gồm mặc quần áo bảo hộ, kính bảo hộ và thiết bị bảo vệ đường hô hấp, và hoạt động trong môi trường thông gió tốt.